一种VCSEL耦合阵列与光学移相器阵列片上集成的光束扫描芯片
文献类型：专利
| 作者 | 徐晨; 潘冠中; 解意洋; 王秋华; 董毅博 |
| 发表日期 | 2019-06-14 |
| 专利号 | CN107611779B |
| 著作权人 | 北京工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种VCSEL耦合阵列与光学移相器阵列片上集成的光束扫描芯片 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种VCSEL耦合阵列与表面光学移相器片上集成的光束扫描芯片，属于半导体激光器技术和光束扫描技术的交叉技术领域。本发明通过采用质子注入、光子晶体或腔诱导反波导等技术，实现VCSEL阵列单元间的耦合，阵列各单元发射出功率一致的相干光。利用VCSEL阵列平面结构的特点，通过光刻、溅射、PECVD、ICP、蒸镀等工艺，在VCSEL耦合阵列表面集成透射式光学移相器阵列，从而获得体积小、结构紧凑、集成度高的光束扫描芯片。它解决了传统的光学相控阵光束扫描装置中因激光光源与移相器阵列在空间上分离而导致的体积大、可靠性低、安装复杂等问题，应用前景广阔。 |
| 公开日期 | 2019-06-14 |
| 申请日期 | 2017-10-13 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38602]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐晨,潘冠中,解意洋,等. 一种VCSEL耦合阵列与光学移相器阵列片上集成的光束扫描芯片. CN107611779B. 2019-06-14. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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