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一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置

文献类型:专利

作者高爱华; 侯劲尧; 刘卫国; 秦文罡; 韦瑶
发表日期2019-07-09
专利号CN209086171U
著作权人西安工业大学
国家中国
文献子类实用新型
其他题名一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置
英文摘要本实用新型涉及一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置,该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成,所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头,所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件,反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本实用新型的测量装置克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。
公开日期2019-07-09
申请日期2018-11-05
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38716]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位西安工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
高爱华,侯劲尧,刘卫国,等. 一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置. CN209086171U. 2019-07-09.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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