一种高反射镜表面疵病参数表征装置
文献类型：专利
| 作者 | 高爱华; 侯劲尧; 刘卫国; 闫丽荣; 江坤 |
| 发表日期 | 2019-07-09 |
| 专利号 | CN209086170U |
| 著作权人 | 西安工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 其他题名 | 一种高反射镜表面疵病参数表征装置 |
| 英文摘要 | 本实用新型涉及一种高反射镜表面疵病参数表征装置，该装置由积分球、积分球探测器、CCD成像组件、半导体激光器和陷光器组成，CCD成像组件由CCD相机、显微镜头和遮光筒组成，遮光筒内部进行黑化处理，积分球上设置有可移动的顶盖，待测样品夹设于样品座和积分球上顶盖相对的外壁之间，CCD成像组件设置于待测样品的正上方，激光器和陷光器对称设置于CCD相机的两侧，积分球上设置有探测器。本实用新型装置和方法克服现有技术存在的显微散射检测只能获取疵病的二维信息，而积分散射率测量检测耗时长、检测效率低的问题。 |
| 公开日期 | 2019-07-09 |
| 申请日期 | 2018-11-05 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38725]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 西安工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高爱华,侯劲尧,刘卫国,等. 一种高反射镜表面疵病参数表征装置. CN209086170U. 2019-07-09. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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