一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置
文献类型：专利
| 作者 | 杨为家; 陈明辉; 何鑫; 吴质朴; 何畏; 陈强; 曾庆光; 刘乐
|
| 发表日期 | 2019-07-23 |
| 专利号 | CN209148245U |
| 著作权人 | 五邑大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 其他题名 | 一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置 |
| 英文摘要 | 本实用新型涉及一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置，包括氧化炉腔体、加热装置、高温水蒸气发生装置、红外成像仪、控制系统，加热装置设置在氧化炉腔体下端，高温水蒸气发生装置通过管道与氧化炉腔体相连通，所述的红外成像仪设置在氧化腔体的上端，部分所述的红外成像仪伸入氧化炉腔体内，红外成像仪与控制系统连接，本实用新型结构简单、设计合理、实用性强，通过加热装置VCSEL加热，并通过高温水蒸气发生装置将产生的高温水蒸气输送至腔体中，实现VCSEL的氧化，然后通过红外成像仪实现氧化前后的图像采集，并通过控制系统处理得到氧化物限制窗口的大小和氧化速率，该装置结构简单，进一步降低了测试成本，而且测试简单、易操作，测试结果准确。 |
| 公开日期 | 2019-07-23 |
| 申请日期 | 2018-07-17 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38763]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 五邑大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨为家,陈明辉,何鑫,等. 一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置. CN209148245U. 2019-07-23. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。