一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置
文献类型：专利
| 作者 | 金传广; 杜先鹏; 郭俊兴; 代启强; 周印伟 |
| 发表日期 | 2019-08-23 |
| 专利号 | CN209297040U |
| 著作权人 | 青岛小优智能科技有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 其他题名 | 一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置 |
| 英文摘要 | 本实用新型公开了一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置，包括外壳和沿光路依次分布设置的半导体激光器、激光整形系统、双轴MEMS微振镜、反馈系统和驱动控制系统，半导体激光器产生的光束，通过激光整形系统整形后通过双轴MEMS微振镜对外进行投射。双轴MEMS微振镜消除激光散斑，结构简单，而且对激光光源的波长没有要求，任意波长的激光均可实现消散斑效果；双轴MEMS微振镜的X轴做扫描运动，获得所需模式的结构光，结构光模式不限；双轴MEMS微振镜的Y轴做镜面法线方向的上下幅度为波长量级的高频振动，振动频率高于X轴的频率，振动幅度为波长量级，不会对扫描光栅的分布造成影响，实现了获得高光束质量的方法，极大的提高扫描模组的建模精度。 |
| 公开日期 | 2019-08-23 |
| 申请日期 | 2019-01-11 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38877]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 青岛小优智能科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金传广,杜先鹏,郭俊兴,等. 一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置. CN209297040U. 2019-08-23. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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