Method for generating a strip waveguide
文献类型:专利
作者 | HEINEN, JOCHEN |
发表日期 | 1989-04-04 |
专利号 | US4818722 |
著作权人 | SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT, A GERMAN CORP |
国家 | 美国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | Method for generating a strip waveguide |
英文摘要 | A method for generating a strip laser in a buried hetero-structure composed of layers, wherein a raised strip is etched out of the layer structure and the strip is laterally etched with an erosion melt. The lateral edges of the laser active layer are protected by leaving them covered with a portion of the layer dissolved out by the erosion melt. The deposits thus remaining are used to initiate the generation of an epitaxial layer which extends laterally from the laser-active layer. |
公开日期 | 1989-04-04 |
申请日期 | 1987-05-26 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/39213] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT, A GERMAN CORP |
推荐引用方式 GB/T 7714 | HEINEN, JOCHEN. Method for generating a strip waveguide. US4818722. 1989-04-04. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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