一种光学驻波纳米颗粒尺寸测量装置
文献类型：专利
| 作者 | 高秀敏 |
| 发表日期 | 2011-02-02 |
| 专利号 | CN101603813B |
| 著作权人 | 杭州电子科技大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种光学驻波纳米颗粒尺寸测量装置 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种光学驻波纳米颗粒尺寸测量装置。现有技术测量精度低，对测量环境要求高。本发明包括激光光源、扩束准直器、等腰三棱镜、第一、二反射镜、第一、二聚焦透镜、相位调节器、平凸透镜、汇聚物镜、光电传感器。激光束被等腰三棱镜两个等腰面反射的两个光束分别经过反射镜和聚焦透镜后光束相交，形成干涉区域；设置在光束相交处的平凸透镜的平面位于干涉区域，纳米颗粒设置在平面上；通过相位调节器改变一个光束的相位，导致干涉条纹移动，纳米颗粒散射光强同步发生强弱变化；光电传感器探测到纳米颗粒散射光强，通过计算光强对比度测量纳米颗粒尺寸。本发明装置具有无颗粒材料干扰、测量精度高、对测量环境要求低、应用广泛等特点。 |
| 公开日期 | 2011-02-02 |
| 申请日期 | 2009-07-10 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/39225]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 杭州电子科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高秀敏. 一种光学驻波纳米颗粒尺寸测量装置. CN101603813B. 2011-02-02. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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