光-電子部品
文献类型:专利
作者 | ジェームス·ウィルソン·パーカー; ポール·マーク·ハリソン; ロバート·ジョージ·ピール |
发表日期 | 2001-03-02 |
专利号 | JP3165228B2 |
著作权人 | ノーテル·ネットワークス·リミテッド |
国家 | 日本 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 光-電子部品 |
英文摘要 | 【目的】 本発明は、フリップチップ接合技術で使用されるはんだバンプを設ける方法で有害な堆積物等が生成しない方法を得ることを目的とする。 【構成】 はんだに濡れないシリコン等の基体表面にはんだ濡れ可能なパッド54を設け、パッド54上にパッドの周縁部分より内部になるようにはんだ素子58を限定して付着させ、はんだの再溶融のために装置を加熱して溶融はんだを濡れ可能なパッド54の縁部に流動させてその全体を覆わせ、装置を冷却してバンプ59を形成する段階を含むことを特徴とする。はんだ濡れ可能なパッド54は例えばTiとPtとAuの連続して付着した層によって形成される。 |
公开日期 | 2001-05-14 |
申请日期 | 1992-05-11 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/39818] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | ノーテル·ネットワークス·リミテッド |
推荐引用方式 GB/T 7714 | ジェームス·ウィルソン·パーカー,ポール·マーク·ハリソン,ロバート·ジョージ·ピール. 光-電子部品. JP3165228B2. 2001-03-02. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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