雷射照射裝置、非單晶半導體膜的製造方法及液晶顯示裝置的製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 松中繁樹; 藤原淳史; 角野努 |
| 发表日期 | 2001-07-01 |
| 专利号 | TW444247B |
| 著作权人 | 东芝移动显示股份有限公司 |
| 国家 | 中国台湾 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 雷射照射裝置、非單晶半導體膜的製造方法及液晶顯示裝置的製造方法 |
| 英文摘要 | 本發明係關於對被處理物照射雷射光用之雷射照射裝置及使用其之非單晶半導體膜的製造方法及液晶顯示裝置之製造方法。雷射照射裝置包含:一個強度均化器以實質均勻化雷射光束之能量強度分布、一個反射透鏡以轉換實質上藉由強度均化器被均勻化之雷射光束以及以此雷射光束照射物件、一個縫隙以移除一部份之經過轉換之雷射光束並將其整型為預先決定之光束形狀、一個檢測器用於檢測藉由縫隙被移除之部份的雷射光束之能量強度、以及一個控制裝置基於由檢測器輸出之檢測訊號以控制雷射光束之能量強度。 |
| 公开日期 | 2001-07-01 |
| 申请日期 | 2000-01-25 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/39880]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 东芝移动显示股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 松中繁樹,藤原淳史,角野努. 雷射照射裝置、非單晶半導體膜的製造方法及液晶顯示裝置的製造方法. TW444247B. 2001-07-01. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。