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基于F-P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置

文献类型:专利

作者张彩妮; 王向朝
发表日期2004-11-10
专利号CN2655175Y
著作权人中国科学院上海光学精密机械研究所
国家中国
文献子类实用新型
其他题名基于F-P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置
英文摘要一种基于F-P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置,它包含有带驱动电源的调制光源,沿着该调制光源发出的光束的前进方向上置有光束准直物镜和反射镜,在反射镜的反射光束的前进方向上置有待测物体,在该待测物体反射光的前进方向上置有F-P板和分束镜,该分束镜的端口b透射光束方向上置有透镜和光电转换元件,该光电转换元件与连接计算机的模数转换元件相连,在该分束镜的端口c反射光束方向上置有CCD图像探测器,该CCD图像探测器与连接计算机的模数转换元件相连。
公开日期2004-11-10
申请日期2003-08-22
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/39928]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张彩妮,王向朝. 基于F-P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置. CN2655175Y. 2004-11-10.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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