一种半导体激光器芯片腔面镀膜夹具
文献类型:专利
作者 | 彭海涛; 蒋红旺; 张发智; 张世祖; 家秀云 |
发表日期 | 2015-05-13 |
专利号 | CN204333598U |
著作权人 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 实用新型 |
其他题名 | 一种半导体激光器芯片腔面镀膜夹具 |
英文摘要 | 本实用新型属于半导体激光器镀膜工艺技术领域,具体公开了一种半导体激光器芯片腔面镀膜夹具,包括基体、滑块、夹持机构和底座,基体中部设有贯穿的通孔,通孔的中部设有垂直的一对平行滑轨,内置第一滑块和第二滑块,紧贴第一滑块设置有螺栓,穿过基体上的螺纹与滑块垂直;底座的顶面上方为设有凹槽的载台,凹槽的宽度小于芯片的长度,用来承载芯片,芯片的两端设有限位块,防止芯片歪斜,所述载台位于通孔内,所述底座的顶面、载台的顶面与基体的底面相互平行。本实用新型采用堆叠-夹持的方式固定芯片,具有结构简单、易于加工、方便实用的优点,能够使芯片夹持牢固,减弱或避免芯片在装片过程中对腔面的损伤和污染,同时能提升装片效率。 |
公开日期 | 2015-05-13 |
申请日期 | 2015-01-29 |
状态 | 授权 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40151] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭海涛,蒋红旺,张发智,等. 一种半导体激光器芯片腔面镀膜夹具. CN204333598U. 2015-05-13. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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