用于快速热处理的设备及方法
文献类型：专利
| 作者 | 约瑟夫·M·拉内什; 阿伦·缪尔·亨特; 托马斯·F·索莱斯; 亚历山大·M·鲁边奇克 |
| 发表日期 | 2018-01-30 |
| 专利号 | CN104428879B |
| 著作权人 | 应用材料公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 用于快速热处理的设备及方法 |
| 英文摘要 | 本发明的实施方式提供用于执行快速热处理的设备及方法。本发明的一个实施方式提供一种用于处理基板的设备。所述设备包括设置于腔室主体外且被配置以向处理容积提供热能的加热源。基板支撑件界定基板支撑平面，且所述基板支撑件被配置以在基板支撑平面内支撑基板。加热源包括：具有内壁的框架构件，所述内壁围绕足够大的区域以包围基板的表面区域；及安装于框架构件的内壁上的多个激光二极管块(tile)。多个激光二极管块中的每个激光二极管块被导向处理容积中的对应区域。 |
| 公开日期 | 2018-01-30 |
| 申请日期 | 2013-05-29 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40390]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 应用材料公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 约瑟夫·M·拉内什,阿伦·缪尔·亨特,托马斯·F·索莱斯,等. 用于快速热处理的设备及方法. CN104428879B. 2018-01-30. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。