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III族氮化物半导体激光元件、及制作III族氮化物半导体激光元件的方法

文献类型:专利

作者高木慎平; 善积祐介; 片山浩二; 上野昌纪; 池上隆俊
发表日期2013-06-19
专利号CN102341977B
著作权人住友电气工业株式会社
国家中国
文献子类授权发明
其他题名III族氮化物半导体激光元件、及制作III族氮化物半导体激光元件的方法
英文摘要本发明提供一种III族氮化物半导体激光元件,其在六方晶系III族氮化物的c轴向m轴方向倾斜的支持基体的半极性面上,具有可实现低阈值电流的激光谐振器。激光构造体(13)中,第1面(13a)为第2面(13b)的相反侧的面,第1及第2割断面(27、29)从第1面(13a)的边缘(13c)延伸至第2面(13b)的边缘(13d)。而且,在例如第1割断面(27)的一端,具有从边缘(13c)延伸至边缘(13d)的刻划痕(SM1),刻划痕(SM1)等具有从边缘(13c)延伸至边缘(13d)的凹形状。割断面(27、29)并非由干式蚀刻形成,与c面、m面或者a面这些目前为止的裂面不同。可利用能实现低阈值电流的能带跃迁的发光。
公开日期2013-06-19
申请日期2010-11-16
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40438]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位住友电气工业株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
高木慎平,善积祐介,片山浩二,等. III族氮化物半导体激光元件、及制作III族氮化物半导体激光元件的方法. CN102341977B. 2013-06-19.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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