一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 高海根; 冯定; 管锋; 吴文秀 |
| 发表日期 | 2018-03-06 |
| 专利号 | CN105390935B |
| 著作权人 | 长江大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法，属于半导体激光器技术领域。本发明通过将外延片经一次光刻、二次光刻和三次光刻后再用四氯化碳，三氯乙烯，丙酮，乙醇将外延片煮沸清洗两遍，再用去离子水冲洗30遍，吹干；最后溅射背面电极AuGeNi/Au，并在420 ℃条件下快速退火35s，制得带有标记功能的激光器芯片，通过本发明制备的激光器芯片，相对于现有的激光器芯片增加了标记区和辅助块的设计，对外延片质量及芯片良品率进行评估时，只需进行抽样测试即可满足评估要求。该本发明制备的激光器芯片结构简单，大大降低了评估芯片的工作量，而且还提高了产品的使用率，特别适合激光器进行芯片测试、使用的需要。 |
| 公开日期 | 2018-03-06 |
| 申请日期 | 2015-12-03 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40520]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 长江大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高海根,冯定,管锋,等. 一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法. CN105390935B. 2018-03-06. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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