一种基于MEMS的扫描式半导体激光器
文献类型：专利
| 作者 | 张正正; 屈志巍 |
| 发表日期 | 2018-07-17 |
| 专利号 | CN207625073U |
| 著作权人 | 北京万集科技股份有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 其他题名 | 一种基于MEMS的扫描式半导体激光器 |
| 英文摘要 | 本实用新型提供了一种基于MEMS的扫描式半导体激光器，包括：封装基底、半导体激光器芯片、准直透镜和MEMS振镜；所述封装基底用于将所述半导体激光器芯片、所述准直透镜和所述MEMS振镜封装在一起，并固定三者之间的相对位置；所述半导体激光器芯片用于发射激光光束；所述准直透镜用于将所述激光光束进行准直；所述MEMS振镜用于对所述激光光束进行反射使得所述激光光束的出射方向偏转；所述MEMS振镜在驱动信号的驱动下在二维空间内往复振动，使得由所述MEMS振镜反射的激光光束变为扫描激光光束。本实用新型大大减小了激光光源的尺寸，为后续激光扫描以及整形减小压力，更有利于激光传感器的小型化。 |
| 公开日期 | 2018-07-17 |
| 申请日期 | 2017-12-06 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41080]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 北京万集科技股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张正正,屈志巍. 一种基于MEMS的扫描式半导体激光器. CN207625073U. 2018-07-17. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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