用于阵列式集成电路光刻扫描装置的线阵光源
文献类型：专利
| 作者 | 徐端颐; 齐国生; 蒋培军; 范晓东; 钱坤 |
| 发表日期 | 2004-10-06 |
| 专利号 | CN1170209C |
| 著作权人 | 清华大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 用于阵列式集成电路光刻扫描装置的线阵光源 |
| 英文摘要 | 阵列式集成电路光刻扫描装置用的线阵光源属于扫描光学头技术领域，其特征在于，它含有：在同一线阵长度内依次排列着的下列元件：n个出射光强均匀的半导体激光器，n个分别会聚该激光器出射光的会聚透镜，n束分别接收上述透镜出射光的每束共有m根光纤的光导纤维，m个由分别来自各个光纤束的n根光纤排列成直线的线阵光纤头和每个线阵光纤头对应的成像透镜。m和n可以相等，也可以不相等。所述线阵光纤头包括：光纤阵列层，覆盖在线阵光纤头上用掩膜制成的光强均匀层，对应光纤处呈严格正方形且对所用波长的激光有高透射率的相位孔径层。与原来提出的线阵光源概念相比，本装置具有更高的照明均匀性、更严格的单个微光源形状和更小的单个微光源尺寸。 |
| 公开日期 | 2004-10-06 |
| 申请日期 | 2001-12-21 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41144]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐端颐,齐国生,蒋培军,等. 用于阵列式集成电路光刻扫描装置的线阵光源. CN1170209C. 2004-10-06. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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