一种全息光栅阵列的制作装置
文献类型：专利
| 作者 | 李星辉; 周倩; 朱祥文; 倪凯; 王晓浩; 胡海飞; 燕鹏 |
| 发表日期 | 2018-08-17 |
| 专利号 | CN106226854B |
| 著作权人 | 清华大学深圳研究生院 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种全息光栅阵列的制作装置 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种全息光栅阵列的制作装置，包括光源、准直镜、光阑、快门、分束镜、两面反射镜、光栅基板和移动平台，其中光源采用激光二极管，光源、准直镜和光阑沿光束前进的方向依次共轴排列，分束镜设置在光束经过光阑后的光路上，分束镜用于将光束反射为两光束，快门设置在光源与分束镜之间且与光束同轴；两面反射镜分别设置在经分束镜反射后的两光束的光路上，两面反射镜以分束镜为轴轴对称设置，光栅基板安装在移动平台上，且光栅基板位于干涉场。本发明提出的全息光栅阵列的制作装置，制作的全息光栅阵列可以应用于一维光栅尺，并大大降低了光源的成本，简化了结构、体积也大大减小。 |
| 公开日期 | 2018-08-17 |
| 申请日期 | 2016-09-21 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41175]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 清华大学深圳研究生院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李星辉,周倩,朱祥文,等. 一种全息光栅阵列的制作装置. CN106226854B. 2018-08-17. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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