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一种直射式激光三角位移传感器

文献类型:专利

作者丁海鹏; 王国安; 孙久春; 吴伟锋; 周飞
发表日期2018-11-06
专利号CN208059800U
著作权人海伯森技术(深圳)有限公司
国家中国
文献子类实用新型
其他题名一种直射式激光三角位移传感器
英文摘要本实用新型公开了一种直射式激光三角位移传感器,包括半导体激光器、发射透镜组、接收透镜组和光电探测器,半导体激光器和发射透镜组共轴依次排列在被测物体的前端,形成发射端;接收透镜组和光电探测器与接收端共面并形成接收端;半导体激光器的激光经过发射透镜组的准直聚焦,照射在被测物体上的三个位置A0、B0和C0,被测物体与发射端的光轴垂直;被测物体在位置A0、B0和C0上的反射光线经过倾斜和偏心设置的接收透镜组后在光电探测器上形成相对应的光斑位置A1、B1和C1。本专利的直射式激光三角位移传感器,实现了高精度的微小位移测量,其光斑很小,直径约为30μm,性能稳定且成本低,实现了对物体表面微小细节的测量。
公开日期2018-11-06
申请日期2018-04-03
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41442]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位海伯森技术(深圳)有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
丁海鹏,王国安,孙久春,等. 一种直射式激光三角位移传感器. CN208059800U. 2018-11-06.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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