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基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法

文献类型:专利

作者关宝璐; 郭霞; 张敬兰; 任秀娟; 郭帅; 李硕; 沈光地
发表日期2011-12-21
专利号CN101764354B
著作权人北京工业大学
国家中国
文献子类授权发明
其他题名基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法
英文摘要基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法属于半导体光电子器件领域。该激光器为内腔接触式的层叠结构,正向电极层(1)设置在p型欧姆接触层(5)上,欧姆接触层(5)以上依次为相位调节层(13)、铝砷化镓层(3)、砷化镓层(2),欧姆接触层(5)以下依次为铝砷化镓氧化电流限制层(6)、有源区(7)、n型铝砷化镓层(8)、n型砷化镓层(9)、n型砷化镓衬底(10)、衬底电极层(11),其中相位调节层(13)采用具有透光性的材料,其厚度可以根据设计双波长的位置、频差需要采用任意厚度,而不局限为激光器所输出激光波长的四分之一的整数倍。由于具有一定厚度的相位调节层可以调节激光器谐振腔内部传输光子相位变化,从而实现多波长发射。
公开日期2011-12-21
申请日期2009-12-30
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41593]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
关宝璐,郭霞,张敬兰,等. 基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法. CN101764354B. 2011-12-21.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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