Method for the monolithic production of facially connectible opto-electronic and/or optical elements with a ridge waveguide structure
文献类型：专利
| 作者 | MUSCHKE, MARKUS, DIPL.-ING. |
| 发表日期 | 1993-07-14 |
| 专利号 | EP0332116B1 |
| 著作权人 | SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
| 国家 | 欧洲专利局 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | Method for the monolithic production of facially connectible opto-electronic and/or optical elements with a ridge waveguide structure |
| 英文摘要 | Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum monolithischen Herstellen von stirnflächenkoppelbaren optoelektronischen und/oder optischen Bauelementen (10) mit Stegwellenleiterstruktur (4), bei dem die lichtkoppelnden Kanten (2) des Bauelementes (10) unter Verwendung einer Maskierung in der gewünschten Struktur aus einem Plättchen (1) aus geeignetem Material herausgeätzt werden. Mit diesem Verfahren sollen nicht nur die lichtkoppelnden Kanten (2) des Bauelementes (10) sondern auch die Stegwellenleiter (4) durch monolithische Technologie herstellbar sein. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß die mit ihren Seitenwänden die lichtkoppelnden Kanten (2) bildenden Ätzgräben (3) mit einer ersten Schicht (5) aus organischem Material zugedeckt werden, die dann außerhalb des Grabens (3) entfernt wird, so daß der verbleibende Rest den Ätzgraben (3) mindestens nahezu ausfüllt, und daß dann über die erste eine zweite Schicht (6) aus organischem Material aufgetragen wird, die nach entsprechender Behandlung als Ätzmaske zum Herausätzen der vorgegebenen Stegwellenleiterstruktur (4) aus dem Plättchen (1) verwendet wird. Das erfindungsgemäße Verfahren wird insbesondere beim Herstellen von MCRW (metal cladded ridge waveguide)-Lasern angewendet. |
| 公开日期 | 1993-07-14 |
| 申请日期 | 1989-03-06 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41813]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | MUSCHKE, MARKUS, DIPL.-ING.. Method for the monolithic production of facially connectible opto-electronic and/or optical elements with a ridge waveguide structure. EP0332116B1. 1993-07-14. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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