Structure and method for planar lateral oxidation in active
文献类型:专利
作者 | CHUA, CHRISTOPHER L.; FLOYD, PHILIP D.; PAOLI, THOMAS L.; SUN, DECAI |
发表日期 | 2004-01-06 |
专利号 | US6674090 |
著作权人 | XEROX CORPORATION |
国家 | 美国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | Structure and method for planar lateral oxidation in active |
英文摘要 | An active semiconductor device is made using planar lateral oxidation to define a core region that is surrounded by regions of buried oxidized semiconductor material in. The buried oxidized semiconductor material provides optical waveguiding, and or a defined electrical path. |
公开日期 | 2004-01-06 |
申请日期 | 1999-12-27 |
状态 | 授权 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41942] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | XEROX CORPORATION |
推荐引用方式 GB/T 7714 | CHUA, CHRISTOPHER L.,FLOYD, PHILIP D.,PAOLI, THOMAS L.,et al. Structure and method for planar lateral oxidation in active. US6674090. 2004-01-06. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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