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半導体レーザとその製造方法

文献类型:专利

作者鈴木 尚文
发表日期1998-02-20
专利号JP2748877B2
著作权人日本電気株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名半導体レーザとその製造方法
英文摘要【目的】 屈折率が連続的に変化されるInAsPまたはInGaAsP光閉じ込め層を有する半導体レーザを容易に作製可能とする。 【構成】 半導体基板1上にInPクラッド層2を形成し、その上にV族組成または III族組成の原料の流量を徐々に変化させながらInAsP光閉じ込め層3を成長し、その上にInGaAsP活性層4を成長し、その上にV族組成またはIII族組成の原料の流量を徐々に変化させながらInAsP光閉じ込め層5を成長し、その上にInPクラッド層6を形成する工程を含む。InAsP光閉じ込め層3,5は半導体基板1に対して格子整合しなくとも、格子整合している場合と同様に結晶性のよい光閉じ込め層が構成でき、低いしきい値電流と高いスロープ効率が得られる。
公开日期1998-05-13
申请日期1995-01-13
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42226]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電気株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
鈴木 尚文. 半導体レーザとその製造方法. JP2748877B2. 1998-02-20.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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