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LiGaO2 単結晶体,単結晶基板,およびそれらの製造方法

文献类型:专利

作者石井 隆生; 宮澤 信太郎; 田雑 康夫
发表日期2004-04-30
专利号JP3549719B2
著作权人日本電信電話株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名LiGaO2 単結晶体,単結晶基板,およびそれらの製造方法
英文摘要【課題】 ガリウム酸リチウム単結晶基板に、転移密度が低減された窒化ガリウム系半導体エピタキシャル薄膜を、均一に形成できるようにする。 【解決手段】 引き上げ条件をb軸及びa軸方向の所定の振れ角の範囲において、単分域のガリウム酸リチウム単結晶104a,104bが育成する。
公开日期2004-08-04
申请日期1998-01-28
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42254]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電信電話株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
石井 隆生,宮澤 信太郎,田雑 康夫. LiGaO2 単結晶体,単結晶基板,およびそれらの製造方法. JP3549719B2. 2004-04-30.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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