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半導体発光装置とその製造方法

文献类型:专利

作者玉村 好司; 河角 孝行; 平田 照二
发表日期2006-06-23
专利号JP3817806B2
著作权人ソニー株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名半導体発光装置とその製造方法
英文摘要【課題】 動作電流等の静特性に優れた、長寿命の半導体発光装置とその製造方法を提供するものである。 【解決手段】 n型GaAs基板1上に0.3μm厚のn型GaAsバッファ層2と、1μm厚のn型AlGaInPクラッド層3と、GaInP/AlGaInPMQW構造の活性層4を順次成長させる。つぎに、活性層4の上にV/III比を下げた50nm厚のキャリア拡散抑制層9を成長させ、その上に1μm厚のp型AlGaInPクラッド層5と、0.1μm厚のp型GaInP層6と、0.3μm厚のp型GaAs電流キャップ層7を順次成長させる。その後、p型AlGaInPクラッド層5とp型GaInP層6およびp型GaAs電流キャップ層7を選択的にエッチングしてメサ構造を形成し、その後、n型GaAs電流ブロック層8をメサ構造の両側に成長させて積層し、半導体発光装置100を形成する。
公开日期2006-09-06
申请日期1997-01-30
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42368]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位ソニー株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
玉村 好司,河角 孝行,平田 照二. 半導体発光装置とその製造方法. JP3817806B2. 2006-06-23.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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