用于基于退火系统的高功率激光二极管的自动聚焦装置
文献类型：专利
| 作者 | 迪安·詹宁斯; 蒂莫西·N·托马斯 |
| 发表日期 | 2013-08-14 |
| 专利号 | CN101065829B |
| 著作权人 | 应用材料公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 用于基于退火系统的高功率激光二极管的自动聚焦装置 |
| 英文摘要 | 一种热处理衬底的设备包括具有沿着慢轴排列的多个激光二极管的激光辐射源、将来自源的激光辐射定向到衬底的镜片，以及沿着垂直于慢轴的快轴排列并接收从衬底反射通过镜片的部分激光辐射的光电探测器阵列。 |
| 公开日期 | 2013-08-14 |
| 申请日期 | 2005-10-12 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42477]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 应用材料公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 迪安·詹宁斯,蒂莫西·N·托马斯. 用于基于退火系统的高功率激光二极管的自动聚焦装置. CN101065829B. 2013-08-14. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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