回音壁模微腔激光二极管的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 徐春祥; 朱刚毅; 戴俊; 林毅; 石增良; 理记涛 |
| 发表日期 | 2013-05-01 |
| 专利号 | CN102545046B |
| 著作权人 | 东南大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 回音壁模微腔激光二极管的制备方法 |
| 英文摘要 | 回音壁模微腔激光二极管的制备方法，首先在P型氮化镓薄膜表面旋涂一层P型聚合物半导体薄膜（如聚乙烯基咔唑PVK、聚芴PF、聚对苯乙烯撑PPV、聚-3烷基噻吩P3HT及其衍生物等P型聚合物半导体），然后将单根氧化锌微米棒集成在p型聚合物薄膜表面形成异质结，然后在集成有ZnO微米棒的片子上旋涂一层绝缘薄膜（如：聚甲基丙烯酸甲酯PMMA，聚二甲基硅氧烷PDMS,二氧化硅SiO2,三氧化二铝Al2O3等有机或者无机透明绝缘材料），通过反应离子刻蚀或者光刻工艺把ZnO微米棒表面暴露，接着在ZnO微米棒表面制备透明电极（如：氧化铟锡ITO、氧化锌铝ZAO等），最后在p型GaN表面制备具有欧姆接触的金属电极，构成完整的器件。 |
| 公开日期 | 2013-05-01 |
| 申请日期 | 2012-01-17 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42879]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 东南大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐春祥,朱刚毅,戴俊,等. 回音壁模微腔激光二极管的制备方法. CN102545046B. 2013-05-01. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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