微小转角干涉测量装置
文献类型：专利
| 作者 | 郑德锋; 王向朝 |
| 发表日期 | 2007-06-20 |
| 专利号 | CN1322308C |
| 著作权人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 微小转角干涉测量装置 |
| 英文摘要 | 一种微小转角干涉测量装置，其结构是：一调制的半导体激光器由可提供直流驱动信号和交流驱动信号的驱动电源驱动，在该半导体激光器发出的光束的前进方向上依次放置有光束准直系统、光束缩束系统和分光元件，在该分光元件的第一出射光束前进方向上经第一反光镜，进入第一测量臂组件，在所述的分光元件的第二出射光束前进方向放置第二测量臂组件，在所述的分光元件的第三出射光束前进方向上置有光电转换元件，该光电转换元件之后依次串连信号放大器、模数转换器与计算机。本发明的角位移测量分辨率由在先技术中的10-4度(75*10-6rad)提高到10-8rad数量级。 |
| 公开日期 | 2007-06-20 |
| 申请日期 | 2005-04-21 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43080]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑德锋,王向朝. 微小转角干涉测量装置. CN1322308C. 2007-06-20. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。