一种激光相位光栅干涉位移传感器
文献类型：专利
| 作者 | 王生怀; 王淑珍; 常素萍; 谢铁邦 |
| 发表日期 | 2009-09-02 |
| 专利号 | CN100535607C |
| 著作权人 | 华中科技大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种激光相位光栅干涉位移传感器 |
| 英文摘要 | 一种激光相位光栅干涉位移传感器，包括半导体激光器、平行弹簧、透射光栅、±1级平面反射镜、分光棱镜、干涉光平面反射镜、扩束透镜、光电接收器和信号处理电路。激光器和透射光栅分别固定于平行弹簧的前、后支架；连杆与平行弹簧的后支架下端部连接，并通过触球与测杆相连，测杆安装在轴承上，探针固定在测杆的另一端；激光器发出的光束依次经过透射光栅、平面反射镜、分光棱镜产生干涉条纹，干涉条纹经透镜扩束后由光电接收器接收，并将光信号转化为电信号，再传送给信号处理电路处理后输出。本发明具有测量范围大、测量精度高、结构简单、成本低的特点。该传感器可用于测量工件的表面轮廓和表面粗糙度，测量范围为0～3mm、分辨率可达6nm。 |
| 公开日期 | 2009-09-02 |
| 申请日期 | 2007-12-07 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43126]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华中科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王生怀,王淑珍,常素萍,等. 一种激光相位光栅干涉位移传感器. CN100535607C. 2009-09-02. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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