Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热
文献类型:期刊论文
作者 | 陈淑仙![]() ![]() ![]() |
刊名 | 重庆大学学报. 自然科学版
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出版日期 | 2003-09-30 |
卷号 | 26期号:9页码:96-100 |
关键词 | Czochralski法 大型砷化镓 紊流 |
ISSN号 | 1000-582X |
其他题名 | Flow and Heat Transfer within the Melt in Czochralski Growth of Large GaAs Single Crystal |
通讯作者 | 陈淑仙 |
中文摘要 | 采用低雷诺数k-ε模型,计算分析了Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体 内的热量、动量输支特性。结果表明:适当的坩埚旋转能有效抑制晶体旋转产生的对流和浮力对流,增长晶体转速能使晶体/熔体界面附近等温线更加平直,适当的坩埚、晶体转速匹配能够抑止晶体/熔体界面附近的温度波动,热毛细力对强烈熔体流动的影响可以忽略不计,但对较弱的熔体流动影响较大。文中还给出了较为适宜的坩埚、晶体转速匹配方式。研究结果为生长高质量大型砷化镓单晶提供了有重要价值的数值依据。 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:1234427 |
公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/40032] ![]() |
专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈淑仙,李明伟,胡文瑞,等. Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热[J]. 重庆大学学报. 自然科学版,2003,26(9):96-100. |
APA | 陈淑仙,李明伟,胡文瑞,&曾丹苓.(2003).Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热.重庆大学学报. 自然科学版,26(9),96-100. |
MLA | 陈淑仙,et al."Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热".重庆大学学报. 自然科学版 26.9(2003):96-100. |
入库方式: OAI收割
来源:力学研究所
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