高重复频率ArF 准分子激光器能量控制算法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 游利兵 ; 梁勖; 方晓东
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| 刊名 | 激光技术
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 36期号:6 |
| 学科主题 | 激光技术与应用 |
| 公开日期 | 2013-01-14 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/9897]  |
| 专题 | 合肥物质科学研究院_中科院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 游利兵,梁勖,方晓东. 高重复频率ArF 准分子激光器能量控制算法研究[J]. 激光技术,2012,36(6). |
| APA | 游利兵,梁勖,&方晓东.(2012).高重复频率ArF 准分子激光器能量控制算法研究.激光技术,36(6). |
| MLA | 游利兵,et al."高重复频率ArF 准分子激光器能量控制算法研究".激光技术 36.6(2012). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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