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MEMS器件的计算机辅助设计与模拟

文献类型:期刊论文

作者孙克豪; 钱劲; 张立宪; 余同希; 赵亚溥
刊名机械强度
出版日期2001-12-30
卷号23期号:4页码:488
关键词微电子机械系统 计算机辅助设计 模拟 数据库
ISSN号1001-9669
通讯作者孙克豪
中文摘要概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程,分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题,讨论了目前经常采用的各种模拟系 统的模拟形式和应 用范围。并结合静电微马达与微米/纳米镊子实例,分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接,所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟。
收录类别EI ; CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:681647
公开日期2009-08-03 ; 2010-08-20
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/40064]  
专题力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式
GB/T 7714
孙克豪,钱劲,张立宪,等. MEMS器件的计算机辅助设计与模拟[J]. 机械强度,2001,23(4):488.
APA 孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,&赵亚溥.(2001).MEMS器件的计算机辅助设计与模拟.机械强度,23(4),488.
MLA 孙克豪,et al."MEMS器件的计算机辅助设计与模拟".机械强度 23.4(2001):488.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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