大流量压阻式流量传感器的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 钱劲
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2003-08-25 |
| 期号 | Z1页码:449-451 |
| 关键词 | 差压 流量传感器 微机械加工 压敏电阻 |
| 通讯作者 | 王小保 |
| 中文摘要 | 根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0 .1～ 10L/min的气体流量的能力 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/40280]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 钱劲. 大流量压阻式流量传感器的研制[J]. 微纳电子技术,2003(Z1):449-451. |
| APA | 钱劲.(2003).大流量压阻式流量传感器的研制.微纳电子技术(Z1),449-451. |
| MLA | 钱劲."大流量压阻式流量传感器的研制".微纳电子技术 .Z1(2003):449-451. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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