微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王家畴 ; 刘洁丹 ; 李昕欣 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2012 |
| 期号 | 7页码:885-890 |
| 关键词 | MEMS MISSM技术 单硅片单面加工 微型释放窗口 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性。通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制作出不同结构尺寸的腔体。同时,结合不同器件结构设计的需求,缝合微型释放窗口并进行后续工艺制作及最终可动结构释放。该技术采用微创手术式单硅片单面体硅工艺替代传统的表面微机械工艺,制作工艺简单,既具有单硅片单面加工的优势又便于与IC工艺兼容。文章详细讲述了微创手术式三维微机械结构的成型机理和工艺流程,并针对其关键技术进行了系统的分析,取得了令人满意的结果。 |
| 收录类别 | CNKI2012-108 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-02-22 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/110937]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王家畴,刘洁丹,李昕欣. 微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术[J]. 传感技术学报,2012(7):885-890. |
| APA | 王家畴,刘洁丹,&李昕欣.(2012).微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术.传感技术学报(7),885-890. |
| MLA | 王家畴,et al."微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术".传感技术学报 .7(2012):885-890. |
入库方式： OAI收割
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