锯齿型微流道微泵流动特性分析及性能测试
文献类型：期刊论文
| 作者 | 关炎芳 ; 刘春波 ; 张士雄 ; 俞正寅 |
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
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| 出版日期 | 2012 |
| 期号 | 5页码:451-457 |
| 关键词 | 微泵 流场 雷诺数 锯齿微流道 |
| ISSN号 | 1672-6030 |
| 中文摘要 | 通过对新型锯齿型和传统扩张/收缩型两种微流道内部流场数值分析结果进行比较,得出微流道内流动状态随雷诺数的变化情况以及漩涡产生原因;锯齿型微流道由于侧面齿形角的存在,流动过程中较传统扩张/收缩型微流道易产生漩涡,正是由于漩涡的产生使流道压力损失降低,因而新型锯齿型微流道微泵性能优于传统扩张/收缩微流道微泵.最后采用先进的硅深反应刻蚀技术(DRIE)在硅片上加工制作出两种微流道及泵腔结构,并采用硅-玻璃阳极键合以及玻璃-聚二甲基硅氧烷(PDMS)紫外线键合的方法封装出三明治结构式微泵.通过对两种微泵分别在对称和电压偏置正弦波驱动下进行性能测试,得出电压正向偏置时微泵性能仅次于对称波形驱动下微泵性能,而电压负向偏置时最差.在对称波形驱动下,新型锯齿型微流道微泵最大流量(MFR)和最大压力头(MPH)值分别为扩张/收缩微流道微泵的1.4倍和1.9倍,因此采用新型锯齿型微流道结构将使微泵性能大大提高. |
| 收录类别 | CNKI2012-166 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-02-22 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/110959]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 关炎芳,刘春波,张士雄,等. 锯齿型微流道微泵流动特性分析及性能测试[J]. 纳米技术与精密工程,2012(5):451-457. |
| APA | 关炎芳,刘春波,张士雄,&俞正寅.(2012).锯齿型微流道微泵流动特性分析及性能测试.纳米技术与精密工程(5),451-457. |
| MLA | 关炎芳,et al."锯齿型微流道微泵流动特性分析及性能测试".纳米技术与精密工程 .5(2012):451-457. |
入库方式： OAI收割
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