基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘英明 ; 徐静 ; 李四华 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 光通信技术
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| 出版日期 | 2012 |
| 期号 | 4页码:22-24 |
| 关键词 | 体硅工艺 光栅光阀 光学调制器 绝缘体上硅 消光比 |
| ISSN号 | 1002-5561 |
| 中文摘要 | 采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器,使用仿真软件对器件参数进行了优化设计。对加工出来的器件进行了测试,并对测试结果进行了分析。器件成功的实现了光学调制的功能,采用10kHz的方波信号进行调制时,得到了峰峰值为50mv,响应时间为10μs的调制后波形。 |
| 收录类别 | CNKI2012-081 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-02-22 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/110976]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘英明,徐静,李四华,等. 基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制[J]. 光通信技术,2012(4):22-24. |
| APA | 刘英明,徐静,李四华,&吴亚明.(2012).基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制.光通信技术(4),22-24. |
| MLA | 刘英明,et al."基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制".光通信技术 .4(2012):22-24. |
入库方式： OAI收割
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