基于碳膜的柔性神经微电极阵列加工
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱壮晖 ; 周亮 ; 张华 ; 李刚 ; 金庆辉 ; 赵建龙 |
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
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| 出版日期 | 2012 |
| 期号 | 2页码:184-188 |
| 关键词 | 柔性微电极 碳膜 电化学稳定性 人工视网膜 |
| ISSN号 | 1672-6030 |
| 中文摘要 | 为了实现长期安全有效的神经电刺激,避免电极腐蚀情况,提出了一种基于热解光刻胶形成碳膜作为导电材料的柔性视网膜神经微电极阵列.首先,通过高温热解图形化的光刻胶形成导电碳膜,然后利用光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)作为基底材料,通过光刻结合转膜、键合和牺牲层腐蚀技术,实现了具有柔性特征的碳膜神经微电极阵列.实验结果显示这种碳膜电极的电荷存储能力达到6.625 mC/cm2,是金电极的12.4倍,显示了良好的电化学稳定性和电荷注入能力,有利于其长期植入和安全有效地工作,可应用于新一代人工视网膜系统的构建. |
| 收录类别 | CNKI2012-049 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-02-22 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/110977]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱壮晖,周亮,张华,等. 基于碳膜的柔性神经微电极阵列加工[J]. 纳米技术与精密工程,2012(2):184-188. |
| APA | 朱壮晖,周亮,张华,李刚,金庆辉,&赵建龙.(2012).基于碳膜的柔性神经微电极阵列加工.纳米技术与精密工程(2),184-188. |
| MLA | 朱壮晖,et al."基于碳膜的柔性神经微电极阵列加工".纳米技术与精密工程 .2(2012):184-188. |
入库方式： OAI收割
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