基于MEMS微镜的可调光学衰减器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘英明 ; 徐静 ; 钟少龙 ; 翟雷应 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 光电子.激光
 |
| 出版日期 | 2012 |
| 期号 | 12页码:2287-2291 |
| 关键词 | 可调光衰减器(VOA) 微光机电系统(MEMS) 微镜 垂直梳齿驱动器 |
| ISSN号 | 1005-0086 |
| 中文摘要 | 设计并制作了一种基于微光机电系统(MEMS)微镜的可调光衰减器(VOA)。其中微镜的谐振频率为11.26kHz,采用垂直梳齿驱动器驱动。微镜采用体硅微加工工艺在绝缘体上硅(SOI)片上制作。采用制作的微镜和双光纤准直器装配成VOA,衰减器在扭转角度为0.3°时驱动电压只有4.4V,开启和关断时的响应时间分别为1.67ms和2.74ms,插入损耗为0.6dB,最大衰减值为40dB。 |
| 收录类别 | CNKI2012-154 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-02-22 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/111007]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘英明,徐静,钟少龙,等. 基于MEMS微镜的可调光学衰减器[J]. 光电子.激光,2012(12):2287-2291. |
| APA | 刘英明,徐静,钟少龙,翟雷应,&吴亚明.(2012).基于MEMS微镜的可调光学衰减器.光电子.激光(12),2287-2291. |
| MLA | 刘英明,et al."基于MEMS微镜的可调光学衰减器".光电子.激光 .12(2012):2287-2291. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。