基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 翟雷应 ; 徐静 ; 吴亚明 ; 刘闯 ; 雷洪波 ; 陶大勇 |
| 刊名 | 光电子.激光
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| 出版日期 | 2012 |
| 期号 | 9页码:1635-1643 |
| 关键词 | 光纤相位调制器 MEMS 垂直梳齿 微镜 光纤传感器 |
| ISSN号 | 1005-0086 |
| 中文摘要 | 设计并制作出了一种基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器。MEMS静电驱动器采用垂直梳齿驱动技术,驱动硅微反射镜沿其法线方向的垂直平移运动以实现入射光波的光相位调制。MEMS静电微镜驱动器与光纤准直器耦合构成MEMS光纤相位调制器,避免了拉伸光纤或改变折射率的困难,具有MEMS技术批量制造、低成本等优势。采用MEMS工艺成功制作出MEMS光纤相位调制器,并实现Michelson光纤干涉仪。利用ASE宽带光源对光纤相位调制器的静态调制特性进行测试,采用Michelson光纤干涉仪对光纤相位调制器的动态调制特性进行测试,结果表明,MEMS光纤相位调制器50V偏压实现了1 550nm光波的2π相位调制,当器件谐振频率为7.15kHz以及交、直流电压幅值分别为12.5V时,响应幅值可达6.8μm,可以实现多个2π的相位的正弦调制。 |
| 收录类别 | CNKI2012-136 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-02-22 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/111008]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 翟雷应,徐静,吴亚明,等. 基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器[J]. 光电子.激光,2012(9):1635-1643. |
| APA | 翟雷应,徐静,吴亚明,刘闯,雷洪波,&陶大勇.(2012).基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器.光电子.激光(9),1635-1643. |
| MLA | 翟雷应,et al."基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器".光电子.激光 .9(2012):1635-1643. |
入库方式： OAI收割
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