Si/Glass激光键合的仿真及实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张志强 ; 徐静 ; 李绍良 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 2012 |
| 期号 | 7页码:86-95 |
| 关键词 | 光学制造 激光键合 有限元方法 键合强度 气密性 能谱分析线扫描 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| 中文摘要 | 对Si/Glass激光键合进行了有限元仿真,自主设计激光键合系统并进行了Si/Glass激光键合实验研究、测试与表征。以Si/Glass激光键合的二维传热解析模型为理论基础,应用有限元软件ANSYS仿真了激光功率20～48W时激光键合的三维温度场、键合熔融深度,并预测键合阈值功率为28 W。自主设计激光键合系统及实验方案,采用光斑直径150μm、功率30W的Nd:YAG连续激光实现了Si/Glass的良好激光键合。测试结果表明,激光键合强度最高为阳极键合的5.2倍,激光键合腔体气密性测试泄漏率平均值约9.29×10-9 Pa.m3/s,与阳极键合处于同一数量级。采用能谱分析(EDS)线扫描Si/Glass激光键合的界面材料成分,发现键合界面形成过渡层,激光功率30W时过渡层厚度9μm,与仿真结果吻合。 |
| 收录类别 | CNKI2012-096 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-02-22 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/111042]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张志强,徐静,李绍良,等. Si/Glass激光键合的仿真及实验研究[J]. 中国激光,2012(7):86-95. |
| APA | 张志强,徐静,李绍良,&吴亚明.(2012).Si/Glass激光键合的仿真及实验研究.中国激光(7),86-95. |
| MLA | 张志强,et al."Si/Glass激光键合的仿真及实验研究".中国激光 .7(2012):86-95. |
入库方式： OAI收割
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