合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 马红伟 ; 刘实 ; 熊良银 |
| 刊名 | 原子能科学技术
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| 出版日期 | 2012-06-20 |
| 期号 | 6页码:744-748 |
| 关键词 | 磁控溅射 Ti膜 合金化 |
| 中文摘要 | 研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响。结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α+β双相结构,改变了薄膜的择优取向,降低了薄膜表面粗糙度,并改善了薄膜的力学性能。 |
| 公开日期 | 2013-02-23 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/60765]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马红伟,刘实,熊良银. 合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响[J]. 原子能科学技术,2012(6):744-748. |
| APA | 马红伟,刘实,&熊良银.(2012).合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响.原子能科学技术(6),744-748. |
| MLA | 马红伟,et al."合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响".原子能科学技术 .6(2012):744-748. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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