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微梁谐振器中的空气阻尼

文献类型:期刊论文

作者冯闯; 赵亚溥; 刘冬青
刊名北京科技大学学报
出版日期2007-08-15
卷号29期号:8页码:841-844
关键词微谐振梁 空气阻尼 谐振频率 品质因子
ISSN号1001-053X
其他题名Air damping in micro-beam resonators
通讯作者冯闯
中文摘要为了研究空气阻尼对谐振器工作性能的影响,基于Euler-Bernoulli假设、梁弯曲振动理论和气体阻尼理论,建立了考虑气体阻尼的梁振动方程,结合边界条件对方程进行了求解,得到了两种不同情况下气体阻尼对微梁谐振器的谐振频率和品质因子的影响.通过两种阻尼对谐振器影响的比较分析,指出在梁形状保持不变(长宽比和高宽比不变)情况下,微梁谐振器存在一个临界压膜厚度,此临界厚度可为器件的设计提供参考.
收录类别EI ; CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:2913548
公开日期2009-08-03 ; 2010-08-20
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41192]  
专题力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式
GB/T 7714
冯闯,赵亚溥,刘冬青. 微梁谐振器中的空气阻尼[J]. 北京科技大学学报,2007,29(8):841-844.
APA 冯闯,赵亚溥,&刘冬青.(2007).微梁谐振器中的空气阻尼.北京科技大学学报,29(8),841-844.
MLA 冯闯,et al."微梁谐振器中的空气阻尼".北京科技大学学报 29.8(2007):841-844.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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