Influences of the Exhaust Flow on the Boundary Layer Flow on the Wafer Surface in Spin Coating System
文献类型：期刊论文
| 作者 | Seiichi KIMURA1 ; Mizue MUNEKATA2 ; Hiroaki KURISHIMA3 ; Kazuyoshi MATSUZAKI4 ; Hideki OHBA2 |
| 刊名 | JOURNAL OF THERMAL SCIENCE
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 14期号:2页码:130,135 |
| 关键词 | rotating disk flow spin coating boundary layer flow hot-wire measurement |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/53194]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_Journal of Thermal Science_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Seiichi KIMURA1,Mizue MUNEKATA2,Hiroaki KURISHIMA3,et al. Influences of the Exhaust Flow on the Boundary Layer Flow on the Wafer Surface in Spin Coating System[J]. JOURNAL OF THERMAL SCIENCE,2005,14(2):130,135. |
| APA | Seiichi KIMURA1,Mizue MUNEKATA2,Hiroaki KURISHIMA3,Kazuyoshi MATSUZAKI4,&Hideki OHBA2.(2005).Influences of the Exhaust Flow on the Boundary Layer Flow on the Wafer Surface in Spin Coating System.JOURNAL OF THERMAL SCIENCE,14(2),130,135. |
| MLA | Seiichi KIMURA1,et al."Influences of the Exhaust Flow on the Boundary Layer Flow on the Wafer Surface in Spin Coating System".JOURNAL OF THERMAL SCIENCE 14.2(2005):130,135. |
入库方式： OAI收割
来源：工程热物理研究所
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