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基于微悬臂梁的谐振式MEMS密度传感器研究

文献类型：会议论文

作者张桂铭 ; 赵立波 ; 徐龙起 ; 黄恩泽 ; 王晓坡 ; 宋渤 ; 蒋庄德 ; 刘志刚
出版日期2012
会议名称中国工程热物理学会
会议日期2012
关键词MEMS 微悬臂梁 谐振 密度
学科主题工质热物性
源URL[http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/56772]  
专题工程热物理研究所_中国工程热物理学会论文_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714		 张桂铭,赵立波,徐龙起,等. 基于微悬臂梁的谐振式MEMS密度传感器研究[C]. 见:中国工程热物理学会. 2012.

入库方式： OAI收割

来源：工程热物理研究所

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