193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 隋永新 ; 王汝冬; 王平; 田伟
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| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2012-08-10 |
| 期号 | 08页码:227-232 |
| 关键词 | 应用光学 193nm光刻 运动学支撑 光学检测 有限元法 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27225]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 隋永新,王汝冬,王平,等. 193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究[J]. 中国激光,2012(08):227-232. |
| APA | 隋永新,王汝冬,王平,&田伟.(2012).193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究.中国激光(08),227-232. |
| MLA | 隋永新,et al."193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究".中国激光 .08(2012):227-232. |
入库方式： OAI收割
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