23.4nm软X射线多层膜反射镜研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘震 ; 陈波
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| 刊名 | 光谱学与光谱分析
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| 出版日期 | 2011-04-15 |
| 期号 | 04页码:1138-1141 |
| 关键词 | 极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 X射线衍射仪 反射率计 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27228]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘震,陈波. 23.4nm软X射线多层膜反射镜研制[J]. 光谱学与光谱分析,2011(04):1138-1141. |
| APA | 刘震,&陈波.(2011).23.4nm软X射线多层膜反射镜研制.光谱学与光谱分析(04),1138-1141. |
| MLA | 刘震,et al."23.4nm软X射线多层膜反射镜研制".光谱学与光谱分析 .04(2011):1138-1141. |
入库方式： OAI收割
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