EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王晓东 ; 朱小明; 刘文光
|
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 2012-12-15 |
| 期号 | 12页码:2674-2679 |
| 关键词 | 极紫外成像仪 光子计数成像仪 极间串扰 伪信号触发 能量上下限 边缘特性 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27267]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓东,朱小明,刘文光. EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正[J]. 光学精密工程,2012(12):2674-2679. |
| APA | 王晓东,朱小明,&刘文光.(2012).EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正.光学精密工程(12),2674-2679. |
| MLA | 王晓东,et al."EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正".光学精密工程 .12(2012):2674-2679. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。