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MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测

文献类型:期刊论文

作者宁永强; 张金龙
刊名发光学报
出版日期2012-09-15
期号09页码:985-990
关键词Ⅲ-Ⅴ族半导体化合物 外延生长 金属有机化合物汽相淀积 反射各向异性谱
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27285]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
宁永强,张金龙. MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测[J]. 发光学报,2012(09):985-990.
APA 宁永强,&张金龙.(2012).MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测.发光学报(09),985-990.
MLA 宁永强,et al."MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测".发光学报 .09(2012):985-990.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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