MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测
文献类型:期刊论文
| 作者 | 宁永强 ; 张金龙
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| 刊名 | 发光学报
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| 出版日期 | 2012-09-15 |
| 期号 | 09页码:985-990 |
| 关键词 | Ⅲ-Ⅴ族半导体化合物 外延生长 金属有机化合物汽相淀积 反射各向异性谱 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27285] ![]() |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宁永强,张金龙. MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测[J]. 发光学报,2012(09):985-990. |
| APA | 宁永强,&张金龙.(2012).MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测.发光学报(09),985-990. |
| MLA | 宁永强,et al."MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测".发光学报 .09(2012):985-990. |
入库方式: OAI收割
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