RAS在线监测AlGaAs的MOCVD生长(英文)
文献类型:期刊论文
作者 | 张金龙![]() ![]() ![]() ![]() |
刊名 | 发光学报
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出版日期 | 2011-12-15 |
期号 | 12页码:1297-1302 |
关键词 | 外延生长 金属有机化合物汽相淀积 反射各向异性谱 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27294] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张金龙,曾玉刚,张星,等. RAS在线监测AlGaAs的MOCVD生长(英文)[J]. 发光学报,2011(12):1297-1302. |
APA | 张金龙,曾玉刚,张星,&宁永强.(2011).RAS在线监测AlGaAs的MOCVD生长(英文).发光学报(12),1297-1302. |
MLA | 张金龙,et al."RAS在线监测AlGaAs的MOCVD生长(英文)".发光学报 .12(2011):1297-1302. |
入库方式: OAI收割
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