X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 卢启鹏 ; 龚学鹏; 彭忠琦
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2012-12-10 |
| 期号 | 12页码:306-312 |
| 关键词 | X射线光学 功率密度分布 热平衡 面形误差 有限元分析 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27317]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢启鹏,龚学鹏,彭忠琦. X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析[J]. 光学学报,2012(12):306-312. |
| APA | 卢启鹏,龚学鹏,&彭忠琦.(2012).X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析.光学学报(12),306-312. |
| MLA | 卢启鹏,et al."X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析".光学学报 .12(2012):306-312. |
入库方式： OAI收割
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