长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展
文献类型:期刊论文
作者 | 高劲松![]() ![]() |
刊名 | 光学精密工程
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出版日期 | 2012-11-15 |
期号 | 11页码:2395-2401 |
关键词 | 深紫外光学 光学薄膜 薄膜沉积 薄膜测量 透过率 面形精度 |
公开日期 | 2013-03-11 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27358] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 高劲松,张立超. 长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展[J]. 光学精密工程,2012(11):2395-2401. |
APA | 高劲松,&张立超.(2012).长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展.光学精密工程(11),2395-2401. |
MLA | 高劲松,et al."长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展".光学精密工程 .11(2012):2395-2401. |
入库方式: OAI收割
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