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长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展

文献类型:期刊论文

作者高劲松; 张立超
刊名光学精密工程
出版日期2012-11-15
期号11页码:2395-2401
关键词深紫外光学 光学薄膜 薄膜沉积 薄膜测量 透过率 面形精度
公开日期2013-03-11
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27358]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
高劲松,张立超. 长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展[J]. 光学精密工程,2012(11):2395-2401.
APA 高劲松,&张立超.(2012).长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展.光学精密工程(11),2395-2401.
MLA 高劲松,et al."长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展".光学精密工程 .11(2012):2395-2401.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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